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湿电子化学品提纯
  • 电子级双氧水提纯到PPT级SEMI G5标准

    电子级双氧水提纯到PPT级SEMI G5标准

    通过恩乐科提供的工艺路线:降温+膜法+树脂吸附法+PTFE全氟滤芯过滤等技术,把电子级双氧水提纯到PPT级SEMI G5标准,主要用于半导体晶圆制造。
  • 湿电子化学品提纯的核心技术、工艺路线及行业现状分析

    湿电子化学品提纯的核心技术、工艺路线及行业现状分析

    湿电子化学品(Wet Electronic Chemicals)的提纯是半导体制造中确保芯片良率的关键环节,其核心目标是将工业级原料中的金属离子、颗粒物和有机杂质去除至 ppt (parts per trillion) 甚至更低级别,以满足先进制程(如7nm、5nm、3nm)对洁净度的极致要求。
  • 提供湿电子化学品提纯设备,把湿电子化学品提纯到PPT级SEMI G5标准

    提供湿电子化学品提纯设备,把湿电子化学品提纯到PPT级SEMI G5标准

    通过恩乐科提供的工艺路线:降温+膜法+树脂吸附法+PTFE全氟滤芯过滤等技术,把湿电子化学品的颗粒物、金属离子降低到PPT级,使目标材料达到SEMI G5标准,主要用于12纳米以下半导体晶圆制造。
  • 电子级异丙醇深度除硼到小于0.01PPb

    电子级异丙醇深度除硼到小于0.01PPb

    通过恩乐科提供的工艺路线:膜法+离子交换法+PTFE全氟滤芯过滤,把电子级异丙醇深度除硼到小于0.01PPb,达到SEMI G5标准,用于半导体晶圆生产。
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