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CO2bubbler又名二氧化碳发泡机是一种超纯水防静电装置，能够提高超纯水的导电性，降低电阻率，避免在晶圆划片过程中静电积聚，消除硅屑、陶瓷屑的静电吸附。有效控制生产制程中的静电危害，避免静电吸附导致产品因静电放电而受损，降低静电破坏和微粒子的附着，提高产品良品率，降低生产成本。设备名称：CO2发泡机、CO2bubbler、超纯水防静电装置

超纯水防静电装置，又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机、二氧化碳鼓泡机)，去离子水电阻率调节装置，加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳， 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在划片制程、清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的表面附着，大大提高产品良品率，降低生产成本。

恩乐科CO2 bubbler 二氧化碳发泡机 超纯水防静电装置ELK-8000L，用于半导体晶圆划片、清洗消除产品静电，防止产品静电损伤。可以采用1拖10台划片机的工作方式，大大降低用户成本。

二氧化碳发泡机 CO2 Bubbler COII-3500L/H 、COII-2000L/H、COII-2000AD、COII-3500AD

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