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恩乐科ELK系列二氧化碳发泡机、CO2 bubbler、超纯水防静电装置因产品稳定可靠，性价比高，已经成功通过国内3D先进封装龙头企业验证，成为其晶圆切割、芯片清洗事业部指定配套机型。恩乐科ELK系列二氧化碳发泡机已经成为半导体晶圆芯片切割领域3大品牌之一。完全替代进口产品，价格只有进口产品50%，性价比高。

恩乐科半导体芯片用二氧化碳发泡机、CO2 bubbler、超纯水电阻调节装置、超纯水防静电装置的主要用途：

芯片切割划片时带有高压静电，会损坏芯片的电路，而且静电会吸附硅屑，导致清洗不干净。
型号：ELK-1000L、ELK-2000L、 ELK-3500L、 ELK-5000L、ELK-7000L   

“恩乐科”品牌二氧化碳发泡机产品介绍

产品功能：

恩乐科ELK系列二氧化碳发泡机，又称co2 bubbler(超纯水防静电装置)，去离子水电阻率调节装置，加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳， 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在划片制程、清洗等半导体、半导体加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的表面附着，大幅提高产品良品率，降低生产成本。

设备原理： 
恩乐科公司经过多年的研发和试验，生产ELK 系列二氧化碳发泡机（超纯水防静电装置），本装置全部采进口优质材料和仪表，设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2 无污染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均匀溶解到水里，而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特制膜将CO2 气体和超纯水隔开， 通过设备中的精密调节装置可以控制CO2 在水中的溶解量， 从而实现精确控制水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.1-2MΩ•cm范围内。此产品可以消除产品表面产生的静电对产品造成静电吸附污染、静电放电损伤等危害，大幅提高了产品的良品率。该产品广泛应用于微电子和半导体行业，价格只有进口产品的二分之一左右， 经过多家客户3年以上的测试评价， 结论是完全可以是替代进口产品。 
设备特点： 
1、全部材料采用进口超纯水管配件，达到电子半导体纯水一级标准
2、设备结构简单紧凑， 占地少，安装方便 
3、零延迟响应流量变化，保证产水电阻率的高稳定性 
4、用气省，耗电少，节能环保 
5、可以实现一拖多模式下，电阻率值的精确稳定控制，无需人工干预
6、自适应混合方式，产品水的电阻率精确地调整到0.1-2MΩ•cm范围内，波动小于 0.1MΩ•cm
7、纯机械静态方式工作，故障率极低 
8、采用最先进混合CELL方式， 产水品质完全超越同类产品

型号：   

ELK-1000L  、ELK-2000L 、ELK-3500L 、ELK-4000L 、ELK-5000L 、ELK-6000L 、ELK-7000L、 ELK-8000L

流量范围：0.1-8M3/H

适用行业：

1、 微电路芯片切割和清洗  2、光掩膜切割和清洗  3、晶圆切割和清洗  4、半导体硅片切割和清洗  5、太阳能电池片切割和清洗   6、先进封装制程